한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.130-131
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- 2007
CFUBM 시스템으로 합성한 CrN / CrAlN 초격자 박막의 마찰 특성
Tribological properties of CrN / CrAlN superlattice thin films by CFUBMS
초록
초고경도 박막을 얻기 위해 질화물을 이용한 CrN / CrAlN 초격자 박막을 CFUBM 시스템을 통해 합성하였다. 초격자 박막의 각층의 두께 (
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