Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
- /
- Pages.130-131
- /
- 2007
Tribological properties of CrN / CrAlN superlattice thin films by CFUBMS
CFUBM 시스템으로 합성한 CrN / CrAlN 초격자 박막의 마찰 특성
Abstract
초고경도 박막을 얻기 위해 질화물을 이용한 CrN / CrAlN 초격자 박막을 CFUBM 시스템을 통해 합성하였다. 초격자 박막의 각층의 두께 (
Keywords