Role of Amorphous Silicon carbide in Microstructure and mechanical Properties of nc_TiC/a-SiC Nanocpomposite Coatings Prepared by PECVD

nc-TiC/a-SiC 나노복합체코팅의 기계적 특성 및 미세구조에서 비정질 SiC의 역할

3성분계 Ti-Si-C 코팅은 PECVD 기술에 의해 WC-Co 기판에 합성되었다. 이 연구에서 Ti-Si-C코팅에서의 비정질 silicon carbide 상의 효과는 XRD, XPS, TEM에 의해 분석되었다. TiC 결정의 입자크기는 비정질 silicon carbide의 침투 현상 때문에 Si의 함유량이 증가됨에 따라 감소된다. Ti-Si-C 코팅은 5.2%의 Si함유량에서 나노크기의 nc-TiC결정과 비정질 a-SiC로 이루어져 있고 최고 경도 33GPa와 탄성율 330GPa를 각각 보여주고 있다. 이 수치들은 순수한 TiC(-21GPa, 260Gpa)보다 눈에 띄게 높아졌다.