한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
- /
- Pages.103.2-103.2
- /
- 2007
Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled $SF_6,\;SF_6/Ar\;and\;SF_6/CH_4$ plasmas
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 이진희 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Jae-Gwon ;
- No, Ho-Seop ;
- Lee, Jin-Hui ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
-
Song, Han-Jeong
- 발행 : 2007.11.02