Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.99.2-99.2
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- 2007
Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas
- Ju, Yeong-U ;
- Park, Yeon-Hyeon ;
- No, Ho-Seop ;
- Kim, Jae-Gwon ;
- Lee, Seong-Hyeon ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Song, Han-Jeong ;
- Lee, Je-Won
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 이성현 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 송한정 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 나노공학부, 나노매뉴팩쳐링 연구소)
- Published : 2007.11.02