Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Twin target sputtering system with ladder type magnet array for direct Al cathode sputtering on organic layers

  • 정진아 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 문종민 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 김한기 (금오공과대학교 정보나노소재공학과)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

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