한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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- Pages.68.2-68.2
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- 2007
반도체 제조공정에서 wafer의 warpage가 노광공정에 미치는 영향성
- 정명호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 윤상호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 김형희 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 김일환 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 김종혁 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 김상진 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 전진호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 박준수 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 이중현 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 한우성 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 문주태 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
- 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Jeong, Myeong-Ho ;
- Yun, Sang-Ho ;
- Kim, Hyeong-Hui ;
- Kim, Il-Hwan ;
- Kim, Jong-Hyeok ;
- Kim, Sang-Jin ;
- Jeon, Jin-Ho ;
- Park, Jun-Su ;
- Lee, Jung-Hyeon ;
- Han, U-Seong ;
- Mun, Ju-Tae ;
- No, Yong-Han
- 발행 : 2007.11.02