반도체 제조공정에서 wafer의 warpage가 노광공정에 미치는 영향성

• Jeong, Myeong-Ho ;
• Yun, Sang-Ho ;
• Kim, Hyeong-Hui ;
• Kim, Il-Hwan ;
• Kim, Jong-Hyeok ;
• Kim, Sang-Jin ;
• Jeon, Jin-Ho ;
• Park, Jun-Su ;
• Lee, Jung-Hyeon ;
• Han, U-Seong ;
• Mun, Ju-Tae ;
• No, Yong-Han

• 정명호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 윤상호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 김형희 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 김일환 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 김종혁 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 김상진 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 전진호 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 박준수 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 이중현 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 한우성 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 문주태 (삼성전자 반도체 연구소 공정개발팀) ;
• 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)

• Published : 2007.11.02

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