3D Interconnection을 위한 관통홀 Cu 전해도금법.

  • 강치구 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 정근희 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김장현 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염광섭 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이용호 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박정갑 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 서수정 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02