Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Hot-Wire CVD 방법을 이용한 저온 에피택셜 실리콘 박막의 표면 텍스처 형성

  • 이승렬 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안경민 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

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