Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.49.1-49.1
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- 2007
ZnO:F films by magnetron sputter-deposition: A comparison of fluorine sources between $ZnF_2$ containing targets and CF4 containing gas mixtures
- Kim, Yong-Hyeon ;
- Gu, Dae-Yeong ;
- Yun, Hui-Seong ;
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Lee, Gyeong-Seok
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Lee, Taek-Seong
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Jeong, Byeong-Gi
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Seong, Tae-Yeon
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Kim, Won-Mok
- 김용현 (고려대학교 신소재공학과) ;
- 구대영 (일동 화학) ;
- 윤희성 (LG 마이크론) ;
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이경석
(한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
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이택성
(한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
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정병기
(한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
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성태연
(고려대학교 신소재공학과) ;
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김원목
(한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
- Published : 2007.11.02