한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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- Pages.13.2-13.2
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- 2007
In-situ FT-IR diagnostics for monitoring of the aluminum chemical vapor deposition
- 박영재 ;
- 양재영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
- Park, Yeong-Jae (UST) ;
- Yang, Jae-Yeong ;
- Gang, Sang-U ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Sin, Yong-Hyeon
- 발행 : 2007.11.02