한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)
- 한국해양정보통신학회 2007년도 추계종합학술대회
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- Pages.743-746
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- 2007
비정질질화실리콘 박막의 대면적 증착
Large Area Deposition of Amorphous Silicon Nitride Thin Film
초록
본 연구에서는 LCD, 이미지 센서 등의 개별 소자인 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 게이트 유전층 및 절연층으로 사용되는 비정질 질화 실리콘 박막을 사일렌
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