수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 $ZrO_2$ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

• 신응철 ;
• 류상욱 (단국대학교 전자공학과) ;
• 성낙진 (충남대학교 재료공학과) ;
• 윤순길 (충남대학교 재료공학과)

• Sin, Eung-Cheol (NCD Technology) ;
• Ryu, Sang-Uk ;
• Seong, Nak-Jin ;
• Yun, Sun-Gil

• 발행 : 2007.08.15

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