Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
- /
- Pages.325-325
- /
- 2007
반도체용 Precursor의 분해 모니터링 연구
-
Heo, Su-Won
;
- Song, Ho-Jun ;
-
Yun, Ju-Yeong
;
-
Gang, Sang-U
;
-
Seong, Dae-Jin
;
-
Sin, Yong-Hyeon
;
-
Mun, Du-Gyeong
-
허수원
(건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실) ;
- 송호준 (건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실) ;
-
윤주영
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
강상우
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
문두경
(건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실)
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords