반도체용 Precursor의 분해 모니터링 연구

• Heo, Su-Won ;
• Song, Ho-Jun ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Gang, Sang-U ;
• Seong, Dae-Jin ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Mun, Du-Gyeong

• 허수원 (건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실) ;
• 송호준 (건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 문두경 (건국대학교 신소재공학과 나노 및 정보소재연구실)

• Published : 2007.08.15

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