Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

식각공정에서의 플라즈마 충격에 의한 세정액활성화 연구

  • 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
  • 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
  • Published : 2007.08.15
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