Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/$SiO_2$ 다층박막의 특성 연구

  • 홍승휘 (경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
  • 황성원 (경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
  • 이도규 (경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
  • 최석호 (경희대학교 물리 및 응용물리학과) ;
  • 김경중 (한국표준과학연구원 전략기술부 첨단산업측정그룹)
  • Published : 2007.08.15
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Abstract

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