Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DC magnetron sputtering에 의해 제조된 $SnO_2:Sb$ 투명전도막의 특성

  • 이성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 최원석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박미주 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 김형진 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부, 플라즈마 응용표면 기술연구 센터)
  • Published : 2007.08.15
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