MOCVD 기법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔 조사를 통한 결함 형성 및 분석

• Ha, Im-Gyeong ;
• Lee, Dong-Uk ;
• Kim, Jin-Seok ;
• Kim, Eun-Gyu ;
• Bae, Seong-Beom ;
• Lee, Gyu-Seok ;
• O, Dae-Gon ;
• Han, Yeong-Hwan ;
• Lee, Byeong-Cheol

• 하임경 (한양대학교 물리학과) ;
• 이동욱 (한양대학교 물리학과) ;
• 김진석 (한양대학교 물리학과) ;
• 김은규 (한양대학교 물리학과) ;
• 배성범 (한국전자통신연구원) ;
• 이규석 (한국전자통신연구원) ;
• 오대곤 (한국전자통신연구원) ;
• 한영환 (원자력 연구소 양자광학 실험실) ;
• 이병철 (원자력 연구소 양자광학 실험실)

• Published : 2007.08.15

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