Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
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- Pages.276-276
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- 2007
MOCVD 기법으로 성장한 GaN 에피층의 전자빔 조사를 통한 결함 형성 및 분석
- Ha, Im-Gyeong ;
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Lee, Dong-Uk
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- Kim, Jin-Seok ;
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Kim, Eun-Gyu
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Bae, Seong-Beom
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Lee, Gyu-Seok
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O, Dae-Gon
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Han, Yeong-Hwan
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Lee, Byeong-Cheol
- 하임경 (한양대학교 물리학과) ;
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이동욱
(한양대학교 물리학과) ;
- 김진석 (한양대학교 물리학과) ;
-
김은규
(한양대학교 물리학과) ;
-
배성범
(한국전자통신연구원) ;
-
이규석
(한국전자통신연구원) ;
-
오대곤
(한국전자통신연구원) ;
-
한영환
(원자력 연구소 양자광학 실험실) ;
-
이병철
(원자력 연구소 양자광학 실험실)
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords