한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
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- Pages.259-259
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- 2007
NO와 $NH_3$ rapid thermal nitridation 공정에 따른 SiON 막질 분석
- 발행 : 2007.08.15