Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

비대칭 마그네트론 스퍼터링방법을 이용한 초미세 탄소 박막 합성

  • 김성일 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 이호영 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • Published : 2007.08.15
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