보론도핑 CVD 다이아몬드 박막의 특성연구

  • 김태규 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 정창구 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 김현수 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 오정석 (창원대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 송정일 (창원대학교 기계공학과)
  • Published : 2007.08.15