Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
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- Pages.247-247
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- 2007
전구체 노출 시간을 조절하는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술
- Sin, Ung-Cheol (NCD Technology) ;
- Ryu, Sang-Uk ;
- Seong, Nak-Jin ;
- Yun, Sun-Gil
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords