rf-마그네트론 스퍼터링 성장압력이 인이 도핑된 p형 산화아연 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성에 미치는 영향

• 황대규 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 오민석 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 최용석 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)

• Hwang, Dae-Gyu ;
• O, Min-Seok ;
• Choe, Yong-Seok ;
• Park, Seong-Ju

• 발행 : 2007.08.15

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