진공 밸브에서의 Helium permeation 현상

  • 이규찬 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩, 충남대학교 물리학과) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 오은순 (충남대학교 물리학과) ;
  • 김진태 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
  • 발행 : 2007.08.15