드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링

  • 유광준 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 이세연 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 박일한 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부)
  • 발행 : 2007.08.15