AZO와 ZnO의 ICP를 이용한 식각특성비교

  • 이학주 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 정호영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김두영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.08.15