한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
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- Pages.92-92
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- 2007
Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 $SiO_2$ 박막 증착에 관한 연구
- Lee, Jun-Hui ;
- Pham, Thuy T.T. ;
- Kim, In-Gyo ;
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Yeom, Geun-Yeong
- 발행 : 2007.08.15