대기압 Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 형식의 Remote Plasma를 이용한 Photoresist의 Ashing에 관한 연구

  • 박재범 (성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실) ;
  • 정세진 (성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실)
  • Published : 2007.08.15