중성빔 식각장치를 이용한 극미세 Si 패턴의 저손상 식각방법에 대한 연구

  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김성우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 강세구 (성균나노과학기술원) ;
  • 민경석 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과, 성균나노과학기술원, 테라급나노소자개발사업단)
  • Published : 2007.08.15