중성빔 식각장치를 이용한 극미세 Si 패턴의 저손상 식각방법에 대한 연구

• Park, Byeong-Jae ;
• Kim, Seong-U ;
• Gang, Se-Gu (SAINT) ;
• Min, Gyeong-Seok ;
• Yeom, Geun-Yeong (SAINT)

• 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 김성우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 강세구 (성균나노과학기술원) ;
• 민경석 (성균관대학교 신소재공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 신소재공학과, 성균나노과학기술원, 테라급나노소자개발사업단)

• Published : 2007.08.15

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