한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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Pages.301-305
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2007
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
TRIZ를 이용한 반도체 크린 룸 바닥 지지 모듈의 경사 문제 해결
도한우
(한국산업대학교 기계설계공학과) ;
이경원
(한국산업대학교 기계설계공학과)
Do, Han-U
;
Lee, Gyeong-Won
발행 : 2007.06.08
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