한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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Pages.123-123
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2007
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
3D ICP에 2turn parallel antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 및 etching 균일도 모델링
양원균
(군산대학교 신소재.나노화학 공학부) ;
주정훈
(군산대학교 신소재.나노화학 공학부)
Yang, Won-Gyun
;
Ju, Jeong-Hun
발행 : 2007.06.08
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