Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

3D ICP에 2turn parallel antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 및 etching 균일도 모델링

  • 양원균 (군산대학교 신소재.나노화학 공학부) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재.나노화학 공학부)
  • Published : 2007.06.08
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords