한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- Pages.127-128
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- 2007
트렌치 식각 형상에 따른 신뢰성 향상
The reliability enhancement according to the trench etching profile
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김상기
(한국전자통신연구원) ;
- 이주욱 (한국전자통신연구원) ;
- 김관하 (한국전자통신연구원) ;
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박훈수
(위덕대학교) ;
- 김보우 (한국전자통신연구원) ;
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구진근
(한국전자통신연구원) ;
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강진영
(한국전자통신연구원)
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Kim, Sang-Gi
(ETRI) ;
- Lee, Ju-Wook (ETRI) ;
- Kim, Gwan-Ha (ETRI) ;
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Park, Hoon-Soo
(Uiduk Univ.) ;
- Kim, Bo-Woo (ETRI) ;
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Koo, Jin-Gun
(ETRI) ;
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Kang, Jin-Young
(ETRI)
- 발행 : 2007.06.21
초록
고밀도 트렌치 게이트 전력소자 제조를 위해 HBr. He-