한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- Pages.101-101
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- 2007
비휘발성 메모리를 위한 실리콘 나노 결정립을 가지는 실리콘 질화막의 전하 유지 특성
Charge retention characteristics of silicon nanocrystals embedded in $SiN_x$ layer for non-volatile memory devices
- Koo, Hyun-Mo (Kwangwoon Univ.) ;
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Huh, Chul
(ETRI) ;
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Sung, Gun-Yong
(ETRI) ;
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Cho, Won-Ju
(Kwangwoon Univ.)
- 발행 : 2007.06.21
초록
We fabricated floating gate non-volatile memory devices with Si nanocrystals embedded in