정밀 광학부품 가공 공정용 on-line 표면 거칠기 측정 방법

Novel on-line surface roughness measurement method for precision optics fabrication

  • 유성열 (연세대학교 천문우주학과) ;
  • 변용익 (연세대학교 천문우주학과) ;
  • 김석환 (연세대학교 천문우주학과) ;
  • 양호순 (표준연구원 우주광학연구단) ;
  • 이윤우 (표준연구원 우주광학연구단) ;
  • 이재협 (표준연구원 우주광학연구단)
  • 발행 : 2007.02.01