TIF Based Material Removal Control for Deterministic Pitch Tool Polishing for Large Optics fabrication

대구경 광학면 정밀가공을 위한 툴 영향 함수 기반 연마 제어 기법

  • 이현수 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ;
  • 김석환 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ;
  • 양호순 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이재협 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)
  • Published : 2007.02.01