한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

UV 처리 광학 접착제를 이용한 마이크로 광소자의 제작과 그 응용에 대한 연구

Study on Fabrication of Micro-Optical Elements using UV-Curable Optical Adhesive

  • 이현행 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 홍준희 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 김재훈 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 최호 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 김도형 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 박시현 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 박종락 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 김현수 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 김진태 (조선대학교 광기술공학과) ;
  • 무영 (조선대학교 응용화학소재공학과) ;
  • 박옥란 (조선대학교 응용화학소재공학과) ;
  • 조훈 (조선대학교 응용화학소재공학과) ;
  • 정탁 (조선대학교 응용화학소재공학과)
  • 발행 : 2007.02.01
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초록

UV 처리 광학 접착제를 가지고 단일 포토리소그라피 공정을 사용하여 마이크로 렌즈를 제작하였다. 먼저 유리판 위에 자외선 처리 광학 접착제를 코팅 한 후 UV 노광하고 아세톤에서 현상 후 핫플레이트에서 유리전이 온도 이상에서 열적 재흐름이 일어나도록 하여 마이크로 렌즈를 만드는데 성공하였다 이를 실제 LED 소자 위에서 마이크로 렌즈를 만들어 보고 LED의 외부 추출 효율이 높아지는지를 실험하였다. 또한 기존의 UV 처리 광학 접착제에 나노 입자을 첨가하여 굴절률을 더 높여 마이크로 렌즈를 만드는 실험을 하였다.

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