분산 백색광 간섭계를 이용한 실시간 박막두께형상측정

In-situ inspection of thin-film layers on patterned structures by dispersive white-light interferometry

  • 김영식 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2007.02.01