Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
- /
- Pages.155-156
- /
- 2007
Substrate Temperature Effect on Optical Properties and Residual Stress of $TiO_2$ Thin Films
기판 온도에 따른 $TiO_2$ 박막의 광학적 특성 및 잔류응력
- Choe, Won-Seok ;
- Lee, Ga-Eun ;
- Jeong, Jong-Min ;
-
Han, Seong-Hong
;
- Kim, Ui-Jeong ;
- Bae, Seong-Hyo ;
- Ju, Jong-Hyeon
- 최원석 (울산대학교 물리학과) ;
- 이가은 (울산대학교 물리학과) ;
- 정종민 (울산대학교 물리학과) ;
-
한성홍
(울산대학교 물리학과)
;
- 김의정 (생명화학공학부) ;
- 배성효 (IHL(주)) ;
- 주종현 (IHL(주))
- Published : 2007.07.01
Abstract
Keywords