한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 춘계학술발표대회 및 제12회 신소재 심포지엄
- /
- Pages.35.2-35.2
- /
- 2007
$O_2/SF_6$ 플라즈마를 이용한 Poly Ethylene Terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구
Dry Etching of Poly Ethylene Terephthalae(PET) in $O_2/SF_6$ Plasmas
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
-
백인규
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 이진희 (인제대학교 나노공학부) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Jae-Gwon ;
-
Baek, In-Gyu
;
- Lee, Jin-Hui ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik
- 발행 : 2007.05.10