한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2007년도 춘계학술발표대회 및 제12회 신소재 심포지엄
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- Pages.32.2-32.2
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- 2007
다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching
[ $O_2/N_2$ ] Plasma Etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes System
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 백인규 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 김주형 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소)
- Kim, Jae-Gwon ;
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Baek, In-Gyu ;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Ju-Hyeong ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Lee, Je-Won
- 발행 : 2007.05.10