Nanoimprint Lithography 기술과 Reactive ion etcing 기술을 이용한 수십 나노급 상변화 물질 패턴 형성 연구

  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 김종우 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2007.05.10