한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.773-774
- /
- 2007
- /
- 2005-8446(pISSN)
초정밀 가공을 위한 공작물 셋업 보정용 3자유도 tilting stage의 개발
Development of 3-DOF precise tilting stage for compensating ultra-precision workpiece
- 발행 : 2007.06.20