Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.755-756
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Vibration desensitized interferometer for profile measurement of polished silicon wafer

연마된 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정을 위한 진동 둔감 광 간섭계

권택민 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김승우 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김학용 ;
이은상 (인하대학교 기계공학과) ;
이상열 (TIC 덕흥)

Published : 2007.06.20

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Abstract

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