Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.06a
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  • Pages.667-668
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Prediction of Delamination Area in Cu/Ultra Low-K CMP

Cu/Ultra Low-K CMP 공정에서 발생하는 박리 면적 예측

  • 김기현 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 오수익 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2007.06.20
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Abstract

Keywords