한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

정밀 현미경을 이용한 LCD 공정 관리용 선폭 시편 측정

Measurements of Linewidth Specimen for the Control of LCD Manufacturing Process using Precision Microscopes

  • 김종안 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이/시간 그룹) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이/시간 그룹) ;
  • 강주식 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이/시간 그룹) ;
  • 엄태봉 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이/시간 그룹)
  • 발행 : 2007.06.20
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