Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.469-470
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
A study on Micro/Nano Mold Process Technology using Focused Ion Beam
FIB를 이용한 마이크로금형가공공정 기술 연구
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Kang, E.G.
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Choi, B.Y.
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- Kim, S.T. ;
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Hong, W.P.
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Lee, S.W.
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Choi, H.Z.
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강은구
(한국생산기술연구원)
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최병열
(한국생산기술연구원)
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- 김승태 (한국생산기술연구원) ;
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홍원표
(한국생산기술연구원)
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이석우
(한국생산기술연구원)
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최헌종
(한국생산기술연구원)
- Published : 2007.11.08