Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.11a
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  • Pages.155-156
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

development of lift-off friendly imprint resin with improved etch resistance

리프트 오프 공정이 용이하고 내에칭성이 향상된 임프린트 레진 개발

  • 황선용 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 변경재 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍은주 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.08
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Abstract

Keywords